青岛财经日报/首页新闻讯 日本晶圆设备制造商DISCO日前推出了新型碳化硅(SiC)切割设备“DDS2020”。该设备支持切割8英寸SiC材料,可将SiC晶圆的切割速度提高10倍,首批产品已交付客户。
据介绍,SiC材质偏硬加工难度较大,“DDS2020”晶圆切割设备采用了新的断裂机制,在低负荷下实现了对SiC材料的切割。
资料显示,DISCO是一家日本公司,从事半导体制造设备和精密加工工具的制造和销售。其核心竞争力是将制造的半导体硅片研磨成更薄的硅片,然后将其切割成晶圆,最后组装成电子产品。
目前,DISCO在晶圆切割和研磨机领域市场份额高达70%至80%。2023年,DISCO市值同比增长3倍,研发支出高达250亿日元(约合1.75亿美元)。SiC晶圆切割设备已成为DISCO当前重点业务之一。